HPS-CFL007光谱共焦传感头
HPS-CFL007光谱共焦传感头
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HPS-CFL007

精度可达纳米级的非接触式位移传感器

可稳定测量金属/陶瓷/镜面/玻璃等各种材料

测量角度大,适用于各种工作形貌(深孔/斜面/弧面等)

检测速度快

适应于高温高压等严苛的操作环境

技术参数
型号 HPS-CFL007 工作参考距离 15mm
测量范围 ±2mm 测头外径 7mm
线性度 0.02% 线性误差 1.6μm
发光光源 LED白光 光斑直径 101.6μm
最大安装倾角 ±6.3° 防护等级 IP65
工作温度 -40~+85℃ 传感头到控制器光纤长度 可选(默认3m)
应用领域
  • 段差检测
  • 厚度检测
  • 晶圆检测
  • 平整度检测
  • 中心定位
产品尺寸
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