HPS-CF4000光谱共焦传感器
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HPS-CF4000

精度可达纳米级的非接触式位移传感器

可稳定测量金属/陶瓷/镜面/玻璃等各种材料

测量角度大,适用于各种工作形貌(深孔/斜面/弧面等)

控制器支持4路传感头同步测量

检测速度快

适应于高温高压等严苛的操作环境

技术参数
型号 HPS-CF4000 通讯接口 IO/USB3.0/RS232/RS485/RS422/Analog
可支持传感头数量 4个 采样频率 单通道:6.3K Hz; 四通道:1.8K Hz
功率 5W 工作温度 -20 ~ +60°C
重量 6kg 外形尺寸 284*258.5*132mm
应用领域
  • 段差检测
  • 厚度检测
  • 晶圆检测
  • 平整度检测
  • 中心定位
产品尺寸
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